Bochum 2015 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 5: Poster Session - Low Temperature Plasmas

P 5.9: Poster

Montag, 2. März 2015, 16:30–18:30, Foyer Audimax

Einschlussgüte von hochenergetischen Beamelektronen in kapazitiven RF-Entladungen — •Sebastian Wilczek¹, Jan Trieschmann¹, Ralf Peter Brinkmann¹, Julian Schulze², Edmund Schüngel², Ihor Korolov³, Aranka Derzsi³, Zoltán Donkó³ und Thomas Mussenbrock¹ — ¹TET, Ruhr-Universität Bochum, Germany — ²Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, USA — ³Wigner Research Center for Physics, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, Hungary

Die Dynamik von hochenergetischen Beamelektronen spielt in kapazitiven Hochfrequenz-Entladungen vor allem bei geringen Drücken eine wichtige Rolle. Diese gerichteten Elektronen werden durch die Randschichtexpansion beschleunigt und können bei einem geringen Elektrodenabstand ohne Stöße die gegenüberliegende Randschicht erreichen. Da die Energie der Beamelektronen durchaus größer ist, als die Ionisationsgrenze diverser Gase, sind diese essentiell wichtig, um das Plasma aufrecht zu erhalten. Es stellt sich somit die Frage, wie die Einschlussqualität für Elektronen an den Grenzflächen der Entladung ist. Bei einer geeigneten Wahl von Anregungsfrequenz, Plattenabstand und Druck können die Beamelektronen so beschleunigt werden, dass der Beam das Minimum der gegenüberliegenden oszillierenden Randschicht trifft. In diesem Fall überwinden die Beamelektronen das Randschichtpotential und gehen samt ihrer Energie an der Elektrode verloren. In dieser Arbeit wird im Rahmen von Particle-In-Cell Simulationen eine Frequenzvariation durchgeführt, um anschließend die Einschlussgüte der Elektronen über ein analytisches Modell zu diskutieren.