Bochum 2015 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 6: Poster Session - Diagnostics

P 6.8: Poster

Montag, 2. März 2015, 16:30–18:30, Foyer Audimax

Ladungsunabhängige Messung von Kräften beim Sputtern von Festkörperoberflächen — •Alexander Spethmann, Thomas Trottenberg und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der CAU zu Kiel, Deutschland

Der Sputter-Effekt wird üblicherweise durch die Sputterausbeute (Sputtering Yield), d.h. gesputterte Teilchen pro einfallendes Teilchen, quantifiziert. Die experimentelle Bestimmung der Sputterausbeute erfolgt gewöhnlich durch Messung der Massenänderung des Sputtertargets, Änderung seiner Schichtdicke, Detektion der gesputterten Teilchen mit spektroskopischen Methoden oder durch deren Einfang mittels Kollektorflächen.

In diesem Beitrag hingegen werden Messungen zur Kraftwirkung durch das Sputtern auf eine im Ionenstrahl befindlichen Oberfläche mit einer ladungsunabhängigen Diagnostik vorgestellt: Die Kraftsonde ermöglicht die Detektion sowohl der am Target gesputterten Teilchen als auch der "reflektierten" Strahlionen. Die Messungen sind material- und auch winkelabhängig durchgeführt worden.

Es werden die Messungen hinsichtlich der gesputterten und "reflektierten" Teilchen mit einer auf SRIM basierten Simulation verglichen. SRIM ist ein populärer Code zur Berechnung von atomaren Zweierstoßkaskaden. In unserem Modell werden die Trajektorien der Ionen von der Ionenquelle und die der am Target gesputterten Atome bis zur Kraftsonde verfolgt, um die gemessene Kraft zu erklären.