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SYLT: Symposium Aktuelle Entwicklungen in der Lasertechnik

SYLT 3: Lasersysteme und Anwendungen III

SYLT 3.5: Invited Talk

Wednesday, March 4, 2015, 15:30–16:00, HZO 80

Laser und Strahlformungssysteme zur Bearbeitung von Oberflächen und Dünnschichten — •Jens Meinschien — LIMO Lissotschenko Mikrooptik GmbH, Dortmund

Laser mit linienförmiger Strahlgeometrie kommen zunehmend zur Bearbeitung von Oberflächen und dünnen Schichten zum Einsatz, insbesondere in scannenden Verfahren mit großen Flächendurchsätzen, z.B. in der Herstellung von Solarzellen, in der Flachbildschirmproduktion, für Trocknungsverfahren oder kurzzeitigem Aufheizen jeglicher Oberflächen.

Derartige Laseranordnungen können direkt in In-Line-Anlagen integriert werden und dabei einerseits sehr effizient herkömmliche Technologien wie Ofenprozesse ersetzen oder anderseits gänzliche neue Prozessfenster erschließen. Der Energieverbrauch für thermische Prozesse kann so auf 25% oder weniger im Vergleich zu Standardverfahren reduziert werden. Es ist darüberhinaus möglich, dünne Schichten auf wärmeempfindlichen Substraten kurzzeitig auf Temperaturen jenseits von 1000°C zu erhitzen, u.a. zum Schmelzen und Kristallisieren von Siliziumschichten auf Glasträgern.

Es werden Anordnungen von Liniengeneratoren von Hochleistungsdiodenlasern vorgestellt, die sich insbesondere in den Parametern hohe Leistungsdichte je Linienlänge (20...60 W/mm), geringe Linienbreite (0,05...0,2 mm) und Skalierbarkeit zu sehr langen Linien (1 m oder mehr) auszeichnen.

Es werden Beispiele von Anwendungen gezeigt.