Wuppertal 2015 – wissenschaftliches Programm

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T: Fachverband Teilchenphysik

T 44: Halbleiter: F&E 3

T 44.1: Vortrag

Dienstag, 10. März 2015, 16:45–17:00, G.10.03 (HS 8)

Charakterisierungsmessungen an Prototypen von depletierten monolithischen aktiven Pixel Sensoren (DMAPS) — •Theresa Obermann, Laura Gonella, Tomasz Hemperek, Fabian Hügging, Hans Krüger, Carlos Marinas und Norbert Wermes für die ATLAS Kollaboration — Physikalisches Institut der Universität Bonn, Nussallee 12, 53115 Bonn

Neuartige monolithische Pixeldetektorkonzepte, bei denen die Elektronik und der Sensor auf demselben Siliziumsubstrat integriert sind, werden zur Zeit für die Spurmessung bei Teilchenphysik-Experimenten untersucht. Diese depletierten MAPS (DMAPS) Konzepte umfassen zwei Ansätze: Zum einen wird eine Technologie mit einem hochohmigen Substrat und zum anderen eine Silizium auf Isolator (SoI) Technologie verwendet. Beide Prozesse ermöglichen eine vergleichsweise große Verarmungszone für die Ladungssammlung durch Drift sowie die Implementierung der kompletten CMOS Logik in demselben Silizium-Wafer. Es werden Prototypen zweier CMOS-Produzenten vorgestellt: (a) hochohmiges Substrat und (b) Silizium auf Isolator Technologie. Ergebnisse von Labormessungen mit radioaktiven Quellen und mit einem Teilchenstrahl werden gezeigt.