Hamburg 2016 – wissenschaftliches Programm

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T: Fachverband Teilchenphysik

T 10: Halbleiterdetektoren I (Streifen)

T 10.1: Vortrag

Montag, 29. Februar 2016, 11:00–11:15, VMP8 HS

Qualitätssicherung in der Produktion eines neuen Silizium-Streifendetektors für das ATLAS-Experiment — Ingo Bloch¹, Kristin Lohwasser¹, •Jason Mansour², Luise Poley¹ und Dennis Sperlich³ — ¹DESY, Zeuthen — ²Institute of High Energy Physics, Beijing, China — ³Humboldt-Universität zu Berlin

Mit dem High-Lumi LHC Upgrade wird der ATLAS-Detektor einen verbesserten Spurdetektor benötigen, der auf die erhöhte Anzahl von Kollisionen und die größere Strahlenbelastung ausgelegt ist. Der geplante neue Silizium-Streifendetektor ist aus zahlreichen Modulen zusammengesetzt, die jeweils aus einem Sensor, Auslesechips (ASICs) und einer Versorgungsplatine (Hybrid) bestehen. Die Komponenten eines einzelnen Moduls werden miteinander verklebt. Die Dicke der Klebstoffschicht hat hierbei Einfluss auf das Rauschverhalten des Moduls, weshalb es nötig ist, diese genau zu bestimmen und zu kontrollieren.

Wir präsentieren eine neue Methode, mit Hilfe des in der Regel für die Produktion vorhandenen Drahtbonders (Modell Delvotec G5) die Klebstoffdicken zwischen Komponenten zu messen. Dabei wurde Wert darauf gelegt, dass die Messung einfach und schnell durchzuführen ist, und sich gut in den Produktionsablauf einpasst, ohne diesen zu behindern. Einmal gestartet erfolgt die Messung vollautomatisch, mit Rückmeldung anhand eines simplen Ampelsystems, welches zeigt ob die Schichtdicke innerhalb der erwünschten Parameter ist.