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Regensburg 2016 – wissenschaftliches Programm

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 34: Atomic Layer Deposition

Mittwoch, 9. März 2016, 12:15–12:45, H8

12:15 DS 34.1 Quartz Crystal Microbalance Studies of the First Few ALD Cycles of Alternated Grown Titania and Alumina Layers — •Robert Zierold, René Faust, Christoph Wiegand, Martin Waleczek, Robert H. Blick, and Kornelius Nielsch
12:30 DS 34.2 Frontiers of Thin-Film Deposition: MAD-ALE growth and optical properties of Ruddlesden-Popper SrO(SrTiO3)n phase — •Fryderyk Lyzwa, Premysl Marsik, Vladimir Roddatis, Markus Jungbauer, Christian Bernhard, and Vasily Moshnyaga
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