Bremen 2017 – wissenschaftliches Programm

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SYPO: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYPO 2: Plasma und Optische Technologien I

SYPO 2.2: Hauptvortrag

Mittwoch, 15. März 2017, 14:35–15:00, GW1 HS

Praxisnahe Modellierung von Ionenstrahl-Zerstäubungsprozessen — •Kai Starke, Benjamin Lotz, Wjatscheslaw Sakiew und Stefan Schrameyer — Cutting Edge Coatings GmbH, Garbsener Landstr. 10, Hannover

In dem aktuellen Beitrag wird ein Zwischenstand über die laufenden Forschungsarbeiten der Cutting Edge Coatings GmbH auf dem Gebiet hochpräziser und produktiver Ionenstrahl-Zerstäubungsprozesse für anspruchsvolle Anwendungen in Laser- und Präzisionsoptik gegeben. Wesentlicher Schwerpunkt der Arbeiten liegt auf dem umfassenden Verständnis über den Einfluss verschiedener in- und extrinsischer Prozessparameter auf die Ausbreitung der Materialwolke im Prozessraum. Für einige Prozesse wird exemplarisch eine modellhafte Beschreibung der Verteilung des Beschichtungsmaterials sowie ableitbare Tendenzen und Skalierungen gegeben. Von besonderem Interesse sind hierbei die gezielte Einstellung von gewünschten Aufwachsraten im Bereich der zu beschichtenden Substrate und die hochgenaue Kontrolle von Brechungsindex und Schichtdicke zwecks Darstellung komplexer optischer Filter.