Berlin 2018 – wissenschaftliches Programm

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TT: Fachverband Tiefe Temperaturen

TT 29: Poster Session: Cryogenic Particle Detectors and Cyotechnique

TT 29.1: Poster

Montag, 12. März 2018, 15:00–19:00, Poster B

Einfluss von Geometrie und Herstellungstechnologie auf das Zeitverhalten von SNSPD — Julia Brandel¹, •Oliver Brandel¹, Mario Ziegler¹, Sebastian Goerke¹, Ilya Charaev², Emanuel Knehr², Detlef Born¹, Michael Siegel² und Heidemarie Schmidt¹ — ¹Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (IPHT), Jena, Deutschland — ²Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Karlsruhe, Deutschland

Einzelphotonenzähler basierend auf ultradünnen supraleitenden Schichten (SNSPD) besitzen ein breites Anwendungsfeld von der Spektroskopie bis hin zur Quantenkryptografie, da sie in Bezug auf Dunkelzählrate und zeitlicher Genauigkeit herausragende Eigenschaften besitzen.

Die dafür eingesetzten Niobnitridschichten (NbN) wurden bislang mittels Reakivem Magnetron Sputtern hergestellt. Am IPHT wurde eine alternative Herstellungstechnologie entwickelt, mit der es möglich ist, diese Schichten durch Atomlagenabscheidung (ALD) herzustellen. Durch ALD wird neben einer idealen Schichtdickenkontrolle während des Herstellungsprozesses auch die Abscheidung auf dreidimensionalen Strukturen ermöglicht.

In unserem Beitrag werden sowohl die allgemeinen Schichteigenschaften der unterschiedlichen Herstellungstechnologien als auch der Einfluss der geometrischen Strukturierung des SNSPD untersucht.