Regensburg 2019 – scientific programme
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HL: Fachverband Halbleiterphysik
HL 45: HL Posters III
HL 45.54: Poster
Thursday, April 4, 2019, 18:30–21:00, Poster E
Herstellung und Charakterisierung von LuftfeuchteMikrosensoren auf TiO2-Basis — •Felix Groß, Beate Horn-Cosfeld und Thomas Heinzel — Lehrstuhl für Festkörperphysik, HHU Düsseldorf,
Es wurden Titandioxidstrukturen mit verschiedenen Herrstellungsverfahren auf ihre Funktion als Luftfeuchtesensor getestet. Das physikalische Grundprinzip der Luftfeuchtedetektion basiert auf der Änderung der Permittivität єr durch die Adsorption von H2O auf der TiO2 Oberfläche, sodass єr=єr(cH20).
Der Imaginärteil der Impedanz weist eine qualitative Abhängigkeit von der relativen Luftfeuchte im Bereich 5-100% r.H. auf. Wir konnten durch die Änderung des Realteils der Impedanz zudem die Bildung der ersten chemisorbierten Monolage H2O an TiO2 nach dem Prinzip der Grothusskette identifizieren.