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DS: Dünne Schichten
DS 12: Harte Schichten I
Tuesday, March 18, 1997, 10:15–11:15, PC 7
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10:15 | DS 12.1 | Untersuchung der chemischen Struktur von zerstäubungsdeponierten amorphen Silizium-Kohlenstoff-Schichten — •U. Littmark und M. Klonek |
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10:30 | DS 12.2 | Zersetzung von verschiedenartig deponierten Kohlenstoff-Schichten und von sputterdeponiertem amorphen SiC auf Molybdän — •U. Littmark |
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10:45 | DS 12.3 | Untersuchungen zur gespeicherten Energie in plasmaabgeschiedenen TiNx Schichten — •C. Eggs, H. Wulff und R. Hippler |
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11:00 | DS 12.4 | Deposition von TiN-Schichten bei Zimmertemperatur — •You Qiang, H. Haberland, B. Knühl, J. Kraft, O. Rattunde und T. Reiners |