Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 13: Mechanische und elektrische Eigenschaften
DS 13.2: Vortrag
Dienstag, 18. März 1997, 10:30–10:45, H 55
Nanokristalline Dünne Schichten von Ca-modifiziertem Bleititanat hergestellt durch RF-Sputtern — •Carlos Ziebert1, Heinz Schmitt1 und Jan Krüger2 — 1FR 10.3 Technische Physik, Universität des Saarlandes, Im Stadtwald, Bau38, D-66123 Saarbrücken — 2FR 10.2 Experimentalphysik, Universität des Saarlandes, Im Stadtwald, Bau38, D-66123 Saarbrücken
Bei nanokristallinen Materialien (NkM) erwartet man, daß sich die Reduktion der Korngröße drastisch auf die Eigenschaften auswirkt [1]. Durch Rf-Sputtern bei Raumtemperatur wurden dünne amorphe Schichten von Ca-modifiziertem Bleititanat auf Ti-Pt- beschichteten Si(100)-Wafern abgeschieden. Es folgte eine Nach- kristallisation durch Tempern im Temperaturbereich zwischen 400C und 650C [2]. Durch Profilanalyse von Röntgen-Pulverspektren ergaben sich die mit der jeweiligen Nachbehandlungstemperatur verknüpften Korngrößen. Die elastischen Eigenschaften wurden mithilfe von hochauflösender Brillouin-Spektroskopie untersucht und die dielektrischen Klein- und Großsignaleigenschaften charakterisiert. Es sollen erste interessante Ergebnisse unserer Messungen, die auf die Existenz einer eigenen nanokristallinen Phase hinweisen [3], präsentiert und diskutiert werden. [1] H. Gleiter, Nanostruct.Mater., 6, 3 (1995) [2] H. Schmitt et al., Microelectr.Eng., 29, 181 (1995) [3] J.K. Krüger, C. Ziebert, H. Schmitt et al., eingereicht bei Phys.Rev.Letters (Okt. 1996)