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DS: Dünne Schichten

DS 17: Optische Eigenschaften I

DS 17.2: Talk

Tuesday, March 18, 1997, 12:00–12:15, ZB

Einkristalline BaTiO₃– und KNbO₃–Schichten für optische Anwendungen — •L. Beckers, J. Schubert, W. Zander, J. Ziesmann und Ch. Buchal — Institut für Schicht– und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich

Einkristalline ferroelektrische Schichten haben in den letzten Jahren durch die Verbesserung der Depositionsverfahren einen erheblichen Aufschwung erfahren. Dabei sind insbesondere die beiden Oxide BaTiO₃ und KNbO₃ wegen ihrer optischen Eigenschaften interessant. Wir haben die Laserablation verwendet, um das Wachstum dieser beiden Materialien auf verschiedenen Substraten zu untersuchen. Durch geeignete Wahl der Parameter während der Schichtherstellung, insbesondere Temperatur und Sauerstoffdruck, konnte epitaktisches Wachstum erreicht werden. Die Proben wurden mit der Rutherford Rückstreuung / Channeling (RBS/C), Röntgenbeugung (XRD) und Prismenkopplung charakterisiert. Auch bei sehr dicken Schichten von einigen Mikrometern wurde eine gute Kristallqualität (RBS/C) und Orientierung (XRD) gefunden. Mit Hilfe der Prismenkopplung konnte Licht in die Proben eingekoppelt werden. Die Filme zeigen doppelbrechende Eigenschaften und niedrige Wellenleiterverluste.