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DS: Dünne Schichten

DS 2: YSZ

DS 2.1: Talk

Monday, March 17, 1997, 10:15–10:30, H 55

Biaxial orientierte YSZ-Pufferschichten auf technischen Substraten mittels ionenunterstützter gepulster Laserdeposition (IBALD) — •Volker Betz, Bernhard Holzapfel und Ludwig Schultz — Institut für Metallische Werkstoffe, Institut für Festkörper und Werkstofforschung Dresden, Helmholtzstr. 20, D-01069 Dresden

Zur Herstellung von YBCO-Bandleitern mit hoher kritischer Stromdichte werden metallische Substrate mit biaxial orientierten Pufferschichten (z.B. Yttrium stabilisiertes Zirkonoxid, YSZ) verwendet. Diese Pufferschichten können unter anderem mittels ionenstrahlgestützter Schichtabscheidung hergestellt werden. Dabei erzeugt ein während der Deposition unter definiertem Winkel auf das Substrat einfallender Ionenstrahl ein selektives Wachstum der Kristallisationskeime und damit eine biaxiale Orientierung der aufwachsenden Schicht. Es wird die Abhängigkeit des Orientierungsgrades von den gewählten Prozessparametern, insbesondere der Laserenergiedichte, der Laserrepetitionsfrequenz und der Schichtdicke diskutiert. Es wird gezeigt, dass das Limit der maximal erreichbaren Orientierung im wesentlichen in der inneren Divergenz des verwendeten Ionenstrahls begründet liegt. Faraday-Cup Messungen ergaben hier eine Halbwertsbreite der Ionendivergenz von ca. 6 Grad.