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DS: Dünne Schichten

DS 26: Neue Charakterisierungsverfahren

DS 26.3: Talk

Thursday, March 20, 1997, 15:45–16:00, PC 7

Quantifizierung der Laser-SNMS — •M. Wulff und A. Wucher — Fachbereich Physik, Universität Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger-Str., D-67663 Kaiserslautern

Ziel der Arbeiten ist die Untersuchung der Quantifizierbarkeit der lasergestützten Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (SNMS). Durch den Beschuß mit Ar⁺-Ionen einer Energie von 5 keV werden hierbei Neutralteilchen aus der zu untersuchenden Probenoberfläche zerstäubt und mit einem Excimer-Laser nachionisiert. Für die ionisierende Laserstrahlung werden dabei drei verschiedene Wellenlängen verglichen, wobei besonderes Gewicht auf den VUV-Bereich (157 nm) mit einer Photonenenergie von 7.9 eV gelegt wird. Die durch Photoionisation erzeugten Ionen werden in einem Flugzeitmassenspektrometer nachgewiesen. An mehreren NIST-Standards bekannter Zusammensetzung wird die Reproduzierbarkeit der relativen Empfindlichkeitsfaktoren untersucht. Wichtig ist, daß hierbei durch die Sättigung der Photoionisation der Einfluß unterschiedlicher Ionisationsquerschnitte weitgehend elimiert werden kann. Für die trotzdem beobachtete Reststreuung der Empfindlichkeitsfaktoren unterschiedlicher Elemente werden mögliche Ursachen diskutiert, wobei insbesondere der Einfluß einzelner Parameter der geometrischen Anordnung sowie des zeitlichen Ablaufs des Experiments untersucht wird.