Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 26: Neue Charakterisierungsverfahren

DS 26.5: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 16:15–16:30, PC 7

Rauhigkeit dünner Schichten mittels Rutherford Rückstreuung — •H. Metzner¹, M. Gossla², Th. Hahn¹, U. Geyer³ und J. Conrad¹ — ¹II. Physikalisches Institut der Universität Göttingen, Bunsenstraße 7-9, 37073 Göttingen, Germany — ²Hahn-Meitner-Institut, Abteilung FD, Glienicker Str. 100, 14109 Berlin, Germany — ³I. Physikalisches Institut der Universität Göttingen, Bunsenstraße 9, 37073 Göttingen, Germany

Die laterale Inhomogenität der Schichtdicke rauh aufgewachsener, dünner Filme führt bei der Rutherford Rückstreuung zu charakteristischen Ausläufern in den Energiespektren. Dadurch wird die zuverlässige Bestimmung selbst solch einfacher Filmparameter wie mittlerer Dicke, Rauhigkeit oder Stöchiometrie erheblich erschwert, da bislang eine geschlossene, quantitative Analyse solcher Filmspektren als nicht durchführbar galt. Wir präsentieren einen Algorithmus, der, unter vereinfachenden Annahmen, die direkte Ableitung der Höhenverteilung einer rauhen Schicht aus einem RBS-Spektrum erlaubt. Anhand theoretischer Simulationen von Spektren, die aus verschiedenen Höhenverteilungen resultieren, wird dies illustriert. Der Vergleich von experimentellen Höhenprofilen, die sowohl aus RBS-Spektren abgeleitet, als auch mit dem Rastertunnelmikroskop (STM) direkt gemessen wurden, zeigt Gültigkeitsbereich, Grenzen und neue Möglichkeiten der entwickelten Analysemethode auf.