Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 26: Neue Charakterisierungsverfahren

DS 26.6: Talk

Thursday, March 20, 1997, 16:30–16:45, PC 7

Dynamik der Karbidbildung von Ti-Schichten auf Diamant - Phasenidentifikation mittels Maximum-Entropy Datenanalyse — •S. Miller, R. Fischer, H. Plank, J. Roth, and V. Dose — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Euratom Association, Boltzmannstr. 2, D-85748 Garching bei M"unchen

Im Temperaturbereich zwischen Raumtemperatur und 1000 K wurde mit Röntgenstrahl-Photoelektronen-Spektroskopie die Dynamik der Karbidisierung von dünnen Ti Schichten auf natürlichem Diamant untersucht. Durch Entfaltung der Apparatefunktion des Spektrometers aus Ti 2p Spektren mittels Maximum-Entropy ist es möglich, Ti-Phasen zu trennen. Die Apparatefunktion wird hierbei durch Entfaltung der Fermifunktion aus der gemessenen Fermikante von Silber erhalten. Unterhalb von 700 K kommt es, neben metallischen Titan, nur zur Bildung einer Karbidphase mit einem Konzentrationsverhältnis von karbidischem C zu karbidischem Ti von 0.58. Bei 700 K ist die gesamte Ti-Schicht in diese Karbidphase übergegangen. Oberhalb von 700 K nimmt das Verhältnis von karbidischem C zu Ti linear mit der Temperatur zu.