Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 28: Ionenimplantation II

DS 28.4: Talk

Friday, March 21, 1997, 11:00–11:15, PC 7

Computersimulationen zur Evolution von Nanoclustern — •M. Strobel, K.-H. Heinig, and W. M"oller — Forschungszentrum Rossendorf, e.V., Institut f"ur Ionenstrahlphysik und Materialforschung

Die (Ionenstrahl-) Synthese kleinster Pr"azipitate erfreut sich eines gro"sen wissenschaftlichen Interesses, weil diese interessante physikalische Eigenschaften aufgrund ihrer Quantenpunktstruktur besitzen. Da die Eigenschaften von Nanoclustern empfindlich von ihrer Gr"o"se und Struktur abh"angt, versucht man die physikalischen Vorg"ange bei ihrer Synthese zu verstehen, die ihre Gr"o"senverteilung steuern. Nach Abschlu"s der Keimbildungsphase bestimmen Wachstum und Reifung die Evolution der Nanocluster. Die Materialumverteilung durch Ostwald-Reifung w"ahrend der Temperung modellieren wir durch die schrittweise numerische Integration der Reaktions-Diffusionsgleichungen einheitlich im gesamten Spektrum von Reaktions- und Diffusionskontrolle. Die Methode erlaubt auch die Ber"ucksichtigung externer Quellterme. Dadurch kann die Clusterevolution w"ahrend der Deposition von Atomen durch Ionenimplantation simuliert werden. Die Variation von Oberfl"achenspannung und Interface- Reaktionskonstante unterschiedlicher Clustertypen (z.B. A- und B-Typ CoSi₂- Pr"azipitate), die "uber ein gemeinsames Diffusionsfeld wechselwirken, ist ein Zugang zur Beschreibung ihrer gegenseitig beeinflu"sten Evolution. Simulationsergebnisse werden mit Monte-Carlo Rechnungen und experimentellen Daten verglichen.