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DS: Dünne Schichten

DS 29: Metallische Schichten I

DS 29.1: Talk

Friday, March 21, 1997, 10:15–10:30, H 55

RHEED-Untersuchungen an laserdeponierten dünnen metallischen Schichten und Schichtpaketen — •S. Fähler und H. U. Krebs — Institut für Metallphysik, Hospitalstraße 3-7, D-37073 Göttingen und SFB 345

Die gepulste Laserdeposition von Metallen zeichnet sich durch eine hohe momentane Depositionsrate (rund 0,01 nm in 1 µs) und eine hohe kinetische Energie der deponierten Ionen (rund 100 eV) aus [1]. Diese beiden Faktoren werden verantwortlich gemacht für die an dünnen Schichten beobachtete Durchmischung von Grenzflächen, Homogenität von Legierungen, Übersättigung der Randphasen und vergrößerte Netzebenenabstände [2]. In diesem Vortrag werden in-situ RHEED-Messungen des Wachstum von dünnen Schichten und Schichtpaketen (z. B. aus Ag, Fe, Cu) auf einkristallinen Substraten (GaAs (100) und Cu (100)) vorgestellt und mit ex-situ XRD-Messungen verglichen. Anhand dieser Messungen wird der Einfluß der Depositionsparameter auf Struktur und Wachstum diskutiert.

[1] S. Fähler, H. U. Krebs, Appl. Surf. Sci. 96-98 (1996) 61

[2] M. Störmer, H. U. Krebs, J. Appl. Phys. 78 (1995) 7080