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DS: Dünne Schichten

DS 31: Plasma– und Ionentechniken

DS 31.2: Vortrag

Freitag, 21. März 1997, 12:00–12:15, PC 7

Tiefenaufgelöste Ladungszustandsverteilung von 1,1 MeV Argonionen nach Rückstreuung an Gold — •S. Jamecsny und H. D. Carstanjen — Max-Planck-Institut für Metallforschung, Heisenbergstraße 1, D-70569 Stuttgart

Mit einem hochauflösenden elektrostatischen Spektrometer wurden tiefenaufgelöste Ladungszustandsverteilungen von 1,1 MeV Ar-Ionen nach Rückstreuung an Gold gemessen. Die einzelnen Ladungszustände zeigen sehr unterschiedliche Tiefenverteilungen: Teilchen mit hoher Ladung (d.h. 5 bis 10) kommen ausschließlich von der Oberfläche der Probe (etwa 1 nm), Teilchen mit niedrigem Ladungszustand (1 bis 3) aus dem Inneren der Probe. Dies kann durch das folgende Modell beschrieben werden: nach dem Stoß an einem Targetatom ist das gestreute Teilchen hoch geladen. Auf dem Weg durch die Probe haben die Möglichkeit, Elektronen mit dem Targetmaterial auszutauschen. Dabei überwiegt bei hochgeladenen Ionen der Elektroneneinfang. Die dabei ablaufenden Prozesse lassen sich mittels Ratengleichungen beschreiben. Ihre Lösung mittels einer Monte-Carlo-Simulation liefert sowohl die Ladungszustandsverteilung direkt nach dem Stoß als auch mittleren freien Weglängen für Elektroneneinfang und -verlust.