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DS: Dünne Schichten

DS 31: Plasma– und Ionentechniken

DS 31.6: Vortrag

Freitag, 21. März 1997, 13:00–13:15, PC 7

Einsatz ortsauflösender Channelplates in der Ionenstrahlanalytik — •O. Wieland, T. Fischer, S. Jamecsny und H. D. Carstanjen — Max-Planck-Institut für Metallforschung, Heisenbergstraße 1, D-70569 Stuttgart

1- und 2-dimensional ortsauflösende Channelplates (MCPs) wurden hinsichtlich Homogenität, Linearität sowie Orts- und Zeitauflösung beim Einsatz in der Ionenstrahlanalytik getestet. Ein 1-dimensional ortsem-pfindlicher MCP-Detektor wurde an einem elektrostatischen Spektrometer zur Analyse von Festkörperoberflächen mit höchster Tiefenauflösung eingesetzt. Bei RBS-Experimenten an Gold wurde mit ihm eine Tiefenauflösung von 0,1 nm erreicht, bei ERDA-Experimenten an Graphit einzelne Atomlagen aufgelöst. In einem Flugrohr kombiniert mit einem einfachen Magnetspektrometer wurde der Detektor in einer Impuls-Flugzeit-2-Parameter-Messung zur untergrundfreien Analyse von Festkörpern mittels ERDA eingesetzt. Mit einem 2-dimensional ortsempfindlichen MCP-Detektor wurden an Tantal- und Germanium-Einkristallen Blockingpattern aufgenommen.