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DS: Dünne Schichten

DS 32: Metallische Schichten II

DS 32.3: Talk

Friday, March 21, 1997, 12:15–12:30, H 55

STM-Untersuchungen zur Rauhigkeitentwicklung amorpher
ZrAlCu–Aufdampfschichten — •B. Reinker, S. Mayr, M. Moske und K. Samwer — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Die Morphologie amorpher ZrAlCu–Aufdampfschichten ist schichtdickenabhängig mit einem UHV–STM untersucht worden. Dabei wurden die Schichten auf arteigenes Material aufgedampft, welches zuvor oberhalb der Glastemperatur relaxiert wurde [1]. Das Wachstum der amorphen Schichten mit einer charakteristischen Hügelstruktur ist in Form einer Bildsequenz dokumentiert. Aus den Bilddaten wurden die Höhen–Höhen–Korrelationsfunktionen numerisch bestimmt.
Für kleine Schichtdicken (d < 30nm) zeigt die Entwicklung der Oberfläche ein dynamisches Skalenverhalten mit einem Wachstumsexponenten β ≈ 0.2. Oberhalb einer Schichtdicke von d = 30nm wird eine starke Aufrauhung der Oberfläche beobachtet, wobei sich in lateraler Richtung eine chakteristische Größe der Oberflächenstrukturen stabilisiert. Die Ergebnisse werden im Zusammenhang mit dem Wachstumsmodell von Wolf und Villain [2] diskutiert.

[1] B. Reinker, H. Geisler, M. Moske und K. Samwer, Thin Solid Films, 275 (1996), 240

[2] D.E. Wolf und J. Villain, Europhys. Lett., 13 (1990), 389