Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.11: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula

Optische Charakterisierung von SrTiO₃-Dünnschichten für elektrotechnische Anwendungen — •W. Schaudig¹, W. Theiß¹, P. Grosse¹, S. Hoffmann² und R. Waser² — ¹I.Physikalisches Institut, RWTH-Aachen, D-52056 Aachen — ²Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik (IWE), RWTH Aachen, D-52056 Aachen

Elektrokeramische Materialen wie SrTiO₃ versprechen vielseitige Anwendungen in der Mikroelektronik. Insbesondere dynamische Computerspeicher (DRAMs) der nächsten Generation benötigen Materialen mit neuen Eigenschaften. Die Kapazität solcher Speicher hängt entscheidend von optisch bestimmbaren Parametern wie Schichtdicke und -dichte ab. SrTiO₃-Dünnschichten, hergestellt mit verschiedenen Verfahren (Sol-Gel, Sputtern), wurden mittels UV-VIS Spektroskopie untersucht. Dabei konnten Schichtdicke und -dichte (Füllfaktor) durch Computersimulation bestimmt werden. IR-Spektren führen zu Aussagen über Kristallstruktur und Verunreinigungen. Diese zerstörungsfreien Methoden könnten zur Online-Materialkontrolle im Produktionsprozeß verwendet werden.