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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.18: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

Optische Emissionsspektroskopie während einer Plasmapolymerisation — •A. Kiesow und A. Heilmann — Technische Universität Chemnitz-Zwickau, Institut für Physik, Lehrstuhl Gasentladungs- und Ionenphysik, 90127 Chemnitz

Die optischen Eigenschaften von Plasmapolymerschichten werden nicht nur durch das Monomer sondern auch von den Entladungsbedingungen der Plasmapolymerisation bestimmt. Während der Plasmapolymerisation verschiedener Monomere (Benzol, Hexamethyldisiloxan, Thiophen) wurde mittels quantitativer optischer Emissionsspektroskopie (Aktinometrie) im sichtbaren Spektralbereich die zeitliche Veränderung der Konzentration verschiedener Gasspezies untersucht. Weiterhin wurde die Konzentrationsveränderung dieser Spezies während der Verdampfung verschiedener Metalle in die Plasmaentladung bestimmt. Für Schichten, die bei verschiedenen Plasmapolymerisationsleistungen und Monomerdurchflußraten hergestellt wurden, wurden die optischen Transmissionsspektren gemessen und in Zusammenhang mit den Ergebnissen der Aktinometrie diskutiert.