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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.3: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

Akustische Untersuchungen von amorphen dünnen SiO₂-Schichten und polykristallinen dünnen Goldschichten bei sehr tiefen Temperaturen — •E. Gaganidze¹, R. König¹, P. Esquinazi² und K. Zimmer³ — ¹Physikalisches Institut, Universität Bayreuth, 95440 Bayreuth — ²Abt. Supraleitung u. Magnetismus, Universität Leipzig, 04103 Leipzig — ³Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., 04303 Leipzig

Die akustischen Eigenschaften von mikrostrukturierten Si-Kantilevern mit unterschiedlichen Oxidschichtdicken (2 nm bis 500 nm) wurden im Temperaturbereich 0.2 mK ≤ T ≤ 20 K gemessen. Die Dicke der Oxidschicht wurde durch naßchemisches Ätzen eingestellt und im Anschluß an den Ätzprozeß mit einem Fehler von ca. ± 5 nm optisch gemessen. Den Kantilevern wurden zusätzlich ca. 20 nm Au aufgedampft. Die akustischen Eigenschaften der Oxidschichten zeigen typisches glasähnliches Verhalten. Für dünne Oxidschichten und bei 0.2 mK ≤ T ≤ 30 mK haben wir eine lineare Abhängigkeit der inneren Reibung als Funktion der Temperatur in Übereinstimmung mit dem Modell der kollektiven niederenergetischen Anregungen gemessen. Die akustischen Eigenschaften von polykristallinen Goldschichten beeinflussen das Verhalten der Kantilever für T > 0.2 K und zeigen eine T−Abhängigkeit ähnlich wie amorphes PdSiCu.