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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.32: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula

TEM-Querschnittsuntersuchungen an Plasmapolymerschichten mit eingelagerten Metallpartikeln — •Do Ngoc Uan und A. Heilmann M. Gruner — Dr. Andreas Heilmann, Technische Universität Chemnitz-Zwickau, Institut für Physik, Lehrstuhl Gasentladung und Ionenphysik, 90127 Chemnitz

Die vertikale Mikrostruktur von Plasmapolymerschichten mit eingelagerten Silber- bzw. Indiumpartikeln wurde mittels querschnittspräparierten Proben im Transmissionselektronenmikroskop bestimmt. Dabei wurden sowohl Proben vor und als auch nach einer thermischen Behandlung untersucht. In Abhängigkeit von Temperaturverlauf und Zeitdauer der thermischen Behandlung wurde eine Koaleszenz der Metallpartikel bzw. eine Zerstörung der Plasmapolymerschicht festgestellt. Die TEM-Aufnahmen zur vertikalen Mikrostruktur wurden mit den TEM-Aufnahmen in lateraler Richtung korreliert. Mit Hilfe eines Bildanalysesystems wurde eine dreidimensionale Rekonstruktion der Größe und Form der einlagerten Partikel vorgenommen sowie die Veränderung der Größen- und Formverteilung der Partikel durch eine thermische Behandlung diskutiert.