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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.34: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula

Entwicklung eines Raster-Ionenmikroskops mittels supraleitender Fokussierlinse — •Gerd Datzmann, Günther Dollinger, Günter Hinderer und Hans-Joachim Körner — TU München, Physik Department E12

Am Münchner 15 MV Tandem Beschleuninger ist derzeit ein neuartiges Raster-Ionenmikroskop im Aufbau. Ionenstrahlen mit Energien bis zu 200 MeV q²/A sollen - bei einem Verkleinerungsfaktor von 200 - auf einen Strahlfleck von ca. 100 nm fokussiert werden. Die wichtigste Komponente ist eine speziell entwickelte supraleitende Quadrupol-Dublettlinse mit überlagerten höheren Multipol-Komponenten zur Korrektur der geometrischen Aberrationen. Die Multipolstärken wurden mit Hilfe eines Raytracing Programms ermittelt, in das auch detaillierte Randfeldberechnungen eingeflossen sind. Die errechneten geometrischen Aberrationen am Fokuspunkt betragen, bei voller Ausleuchtung der Linse, 180 nm horizontal und 280 nm vertikal. Vor allem drei Konzepte sollen gewährleisten, daß die notwenigen hohen Ansprüche an das Magnetfeld der Linse erfüllt werden können: Ein präzise geschliffenes Keramikrohr im Herzen der Linse definiert die exakte Position der Pole; supraleitende NbTi Folien dienen zur genauen Feldführung und supraleitende Schleifen zwischen benachbarten Polen unterdrücken automatisch alle ungeraden Feldkomponenten.