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DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.35: Poster
Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula
Bestimmung von Zusammensetzung und Dicke dünner Schichten im Nano- bis Millimeterbereich mittels Röntgenfluoreszenz — •M. Klenk, Ch. Kloc und E. Bucher — Fakultät für Physik, Universität Konstanz
Stöchiometrie, Reinheit(ppm-Bereich) und Dicke von Mono- und Multilayern köennen mittels der Röentgenfluoreszenz gleichzeitig bestimmt werden. Wir werden anhand mehrerer Beispiele über unsere Erfahrungen und Ergebnisse berichten. Als Schwerpunkte wählten wir die Charakterisierung von CuGaSe2 Dünnfilmsolarzellen, deren Dicke im Bereich von wenigen Mikrometern liegt, die Analyse von Siliziumschichten im Nanometerbereich auf verschiedenen Substraten, sowie die Untersuchung dünner Folien. Die Resultate werden mit Ergebnissen anderer Analysemethoden, z.B. Ellipsometrie, verglichen.