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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.37: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula

Fluornachweis in dünnen Schichten mittels NRA
— •Th. Gerhäußer¹, J. Hartmann¹, B. Stritzker¹ und W. Hösler² — ¹Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg — ²Siemens AG, ZFE T MR 3, 81730 München

Die Kernreaktionsanalyse (NRA: nuclear reaction analysis) stellt eine effiziente Methode zum quantitativen Nachweis von Fluor in dünnen Schichten dar. In konventionellen RBS- (Rutherford Backscattering Spectrometry) Anordnungen stehen dazu die Reaktionen ¹⁹F(α,p_0,1)²²Ne zur Verfügung. Zur Analyse der Fluorbelegung wurde der differentielle Wirkungsquerschnitt dieser Kernreaktionen unter einem Detektorwinkel von 170^∘ im Energiebereich von 2 – 4 MeV bestimmt. Damit ist es zusätzlich möglich, eine Vorhersage der Position und Fläche der Protonenpeaks, die die obigen Reaktionen in konventionellen RBS-Spektren hervorrufen, zu treffen.