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DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.44: Poster
Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula
Molekulardynamik-Studie zur Subplantation von Kohlenstoff in ta-C — •Sylke Uhlmann und Thomas Frauenheim — Institut für Physik, Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 09107 Chemnitz
Tetraedrisch-gebundener amorpher Kohlenstoff (ta-C) wird unter
Beteiligung von Ionen mit Energien zwischen 30 und 600 eV
abgeschieden.
Dieser Beitrag stellt Resultate von MD-Simulationen vor,
die sich mit Eindringschwellen, -mechanismen, -tiefen sowie
der Energie- Abhängigkeit von Strukturveränderungen in ta-C
unter Kohlenstoff-Beschuß
beschäftigen.
Das Potential basiert auf einer Dichtefunktional-
Tight-
Binding-Methode.
Die Oberfläche von einer 214-atomigen
a-C Struktur ist durch kettenartige und
graphitische Strukturen gekennzeichnet.
Einzel- und Folgetrajektorien
von C-Atomen mit unterschiedlichen Energien zwischen 10
und 100 eV, unterschiedlichen Auftreffpunkten liefern Aussagen zu den
Eindringtiefen und energetischen Eindringschwellen.
Für 40 und 80 eV wurden jeweils Folgen von 20 Beschüssen
gerechnet. C-Atome dringen über offene Gebiete in der
Oberfläche (Ep=5…10 eV) ein, wobei keine klare Barriere
beobachtet werden kann. Eine Verdichtung tiefliegender Schichten (<6
Å) wird ab 80 eV beobachtet.