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DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.51: Poster
Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula
Der Einflu"ss der Energieverteilung der Ladungstr"ager auf den integralen Energieeinstrom bei der Plasma-Wand-Wechselwirkung — •H. Kersten1, H. Steffen2, H. Deutsch2, and R. Hippler2 — 1Department of Physics, TU Eindhoven, The Netherlands — 2Institut f"ur Physik, E.-M.-Arndt-Universit"at Greifswald
Die thermischen Bedingungen an der Substratoberfl"ache beeinflussen wesentlich das Zusammenwirken der Elementarprozesse sowie die Struktur und Zusammensetzung der oberfl"achennahen Schichten beim Plasma"atzen bzw. bei der Plasmadeposition. F"ur die Energiebilanz spielt neben Strahlung, chemischen Reaktionen und externen Heiz- bzw. K"uhlmechanismen insbesondere die kinetische Energie der Ladungstr"ager eine wichtige Rolle. Der Energieeinstrom der Elektronen wird f"ur verschiedene Elektronenenergieverteilungsfunktionen (Maxwell, Druyvesteyn) diskutiert und mit dem Einfu"ss der Ionenkomponente verglichen. Die Ionenenergieverteilungsfunktionen wurden mittels Plasmamonitoring bzw. nach [1] bestimmt. Die Absch"atzungen werden mit experimentellen Ergebnissen zum Energieeinstrom bei der Ti-Deposition (HKBV, Magnetron) [2] und bei der Plasmareinigung [3] verglichen.
[1] Davis,W.D.,Vanderslice,T.A., Phys.Rev.131(1963),219. [2] Kersten,H.,Steffen,H.,Vender,D.,Wagner,H., Vacuum46(1995),305. [3] Kersten,H.,Deutsch,H.,Behnke,J.F. angenommen in Vacuum.