Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.55: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

DCEMS-Tiefenanalyse der Phasenbildung in Al-ionenimplantierten Fe-Oberflächen — •S. Kruijer¹, O. Nikolov¹, H. Reuther², W. Keune¹, S. Weber³ und S. Scherrer³ — ¹Laboratorium für Angewandte Physik, Gerhard-Mercator-Universität Duisburg, D-47048 Duisburg — ²Forschungszentrum Rossendorf e.V., Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Postfach 51 01 19, D-01314 Dresden — ³Ecole des Mines, Laboratoire Métallurgie Physique & Science des Matériaux, F-54042 Nancy

50 keV Al⁺-Ionen wurden mit einer nominellen Dosis von 5x10¹⁷ cm⁻² bei Raumtemperatur und bei 300^∘C in α-Fe-Oberflächen implantiert. Die α-Fe-Targets hatten sowohl unterschiedliche Dicken (Folien und Bleche) als auch unterschiedlichen Wärmekontakt zum Targethalter während der Implantation. Teilweise wurden die Proben einer anschließenden Wärmebehandlung unterzogen. Die verschiedenen metallischen Phasen wurden mit tiefenselektiver Konversionselektronen-Mössbauerspektroskopie
(DCEMS) zerstörungsfrei untersucht.

Die Spektren zeigen sowohl verschiedene geordnete und ungeordnete, magnetische und nicht-magnetische Fe-Al-Phasen als auch die α-Fe-Matrix. Wir können quantitativ die Tiefenverteilung der verschiedenen Fe-Al-Phasen angeben und mit AES- und SNMS-Konzentrationsprofilen korrelieren.

Gefördert durch die DFG.