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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.59: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

Untersuchung und gezielte Manipulation hochintegrierter Schaltungen mit dem AFM — •Friedrich Nehmeier¹, Alexander Rzany¹, Peter Bauer¹, Armin Bolz¹, Max Schaldach¹, Catherine Hahn² und Paul Mueller² — ¹Zentralinstitut für biomedizinische Technik , Universität Erlangen-Nürnberg, Turnstraße 5, 91054 Erlangen — ²Physikalisches Institut III, Universität Erlangen-Nürnberg, Erwin-Rommel-Straße 1, 91058 Erlangen

Die Rasterkraftmikroskopie ermöglicht die Abbildung und Manipulation einer integrierten Schaltung mit einer einzigen Sonde. Es wurde untersucht, wie gut dieses Verfahren nicht nur zum Materialabtrag von weichen Gold- und Aluminiumoberflächen arbeitet, sondern auch auf harten Materialien wie SiO und SiC. Neben der erfolgreichen Durchführung des strukturbildenden Materialabtrages wurde auch die Abhängigkeit der Eindringtiefe von der Geschwindigkeit, der Auflagekraft und der Art der Sensorspitze gemessen.