Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
DS: Dünne Schichten
DS 7: Diamant I
DS 7.1: Talk
Monday, March 17, 1997, 15:15–15:30, PC 7
Modell für die Bildung diamantähnlicher Phasen durch Ionendeposition — •H. Hofsäss und C. Ronning — Universität Konstanz, Postfach 5560, D-78434 Konstanz
Tetraedrisch gebundener amorpher Kohlenstoff (ta-C) kann über direkte Ionendeposition erzeugt werden. Dabei zeigt sich eine charakteristische Abhängigkeit des sp3-Bindungsanteils von der Ionenenergie [1]. Qualitativ wird die Phasenbildung durch das Subplantationsmodell als Volumenprozeß im Nicht- Gleichgewicht beschrieben. Einfache Modelle auf der Basis des Thermal-spike Konzeptes betrachten die Energiedeposition punktförmig, und nehmen an, daß Umordnungsprozesse als Folge des Spikes zur Bildung einer sp2-gebundenen Phase führen [2]. Damit läßt sich aber die beobachtete Energieabhängigkeit nicht erklären [1]. Das hier vorgestellte Modell berücksichtigt detaillierter die Prozesse der Energiedeposition und -dissipation. Es zeigt sich, daß zur Erzeugung eines hohen sp3- Bindungsanteils die vollständige Umordnung der Atome im Spikevolumen notwendig ist. Das Modell kann die Energie abhängigkeit bei ta-C erklären und läßt sich auch auf die Nukleation von kubischem Bornitrid anwenden. [1] C. Ronning et al., Diam. Relat. Mater., to be published [2] J. Robertson, Diam. Relat. Mater 3 (1994) 361