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Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 8: Charakterisierungsverfahren I

Montag, 17. März 1997, 15:15–16:15, H 55

15:15 DS 8.1 Wachstum epitaktischer ferroelektrischer Aurivillius-Phasen auf Metalloxiden durch gepulste Laserabscheidung — •C. Curran, S. Senz, A. Pignolet, M. Alexe, S. Welke und D. Hesse
15:30 DS 8.2 Bestimmung elektrisch wirksamer Defekte in dünnen SiO2- und SiOxNy- Schichten — •Reinhard Beyer, Hubert Burghardt, Eberhard Thomas, Rene Reich, Thomas Geßner und Dietrich R.T. Zahn
15:45 DS 8.3 Elektromigration im Frühstadium — •Holger Schührer, Hubert Brückl und Günter Reiss
16:00 DS 8.4 Herstellung und Charakterisierung von Niedertemperatur-Passivierungsoxiden — •A. Fischer, A. Strass, W. Hansch, F. Kaesen und I. Eisele
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