Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 9: Mikrosonden

DS 9.6: Talk

Monday, March 17, 1997, 16:30–16:45, ZB

Charakterisierung dünner Rh-Aufdampfschichten mit Hilfe der ortsauflösenden Atomsonde — •Manfred Leisch, Klaus Hintler und Wolfgang Athenstaedt — Institut für Festkörperphysik, TU Graz, Petersgasse 16, A-8010 Graz, Austria

Die Atomsonde erlaubt den oberflächennahen Bereiches eines metallischer Festkörpers atomar aufgelöst in die Tiefe zu analysieren. Mit der Implementierung einer ortsaufgelösten Erfassung der von der Oberfläche abgelösten Spezies, ist es nun möglich das analysierte Volumen (ca. 20x20x20 nm) im atomarem Maßstab in drei Dimensionen zu rekonstruieren. Substratspitzen aus W und Pt sind vor der Beschichtung in situ durch Felddesorption gereinigt und feldionenmikroskopisch überprüft worden. Anschließend sind die vorbehandelten Proben in der angeschlossenen Präparationskammer mit Rh bedampft und danach in der Atomsonde untersucht worden. Die dünnen Rh-Filme (5 -10 Atomlagen dick) zeigen in der 3D-Rekonstruktion atomar scharfe Grenzflächen zum Substrat. In den elektronenstrahlverdampften Rh-Schichten wird in geringer Konzentration auch Substratmaterial annähernd statistisch verteilt nachgewiesen. Arbeit gefördert vom Fonds zur Förderung der wissenschaftlichen Forschung Projekt S6206