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DS: Dünne Schichten
DS III: HV III
DS III.1: Invited Talk
Tuesday, March 18, 1997, 09:30–10:00, PC 7
Ionenstrahlsynthese von Nanoclustern und Schichten:
Kinetik von Keimbildung, Wachstum und Ostwald Reifung — •K.-H Heinig, S. Reiss, M. Strobel und W. Möller — Forschungszentrum Rossendorf, e.V., Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Postfach 51 01 19, D-01314 Dresden
Die Ionenstrahlsynthese hat sich als leistungsstarkes Verfahren zur Modifikation von Materialeigenschaften etabliert. Neuerdings wächst das Interesse an der Synthese kleinster Präzipitate, weil diese aufgrund ihrer Quantenpunktstruktur neuartige physikalische Eigenschaften besitzen. Da diese von ihrer Größe abhängen möchte man die Vorgänge verstehen, die bei der Synthese ihre Verteilung steuern. Bei der Synthese finden mehrere physikalische Vorgänge gleichzeitig statt, was eine einheitliche Beschreibung erforderlich macht. Unsere theoretischen Methoden erfüllen diese Forderung: Das Stadium der Ostwald-Reifung wird durch direkte numerisch Integration von Ratengleichungssystemen beschrieben. Diffusive Wechselwirkungen und Grenzflächenreaktionen bestimmen die Evolution. Keimbildung und Wachstum werden durch eine kinetische 3D Gitter-Monte-Carlo-Methode beschrieben, die auf einem stochastischen zellulären Automaten basiert (Simulationszellen bis zu (140 nm)3). Zu allen 3 Stadien (Keimbildung, Wachstum, Reifung) werden Vergleiche mit experimentellen Ergebnissen durchgeführt. Grundlegende Aussagen zur Evolution von Nanoclustern in Abhängigkeit von Temperatur, Ionendosis und -strom konnten gefunden werden.