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HL: Halbleiterphysik

HL 19: Si/Ge II

HL 19.4: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 16:45–17:00, H2

Ellipsometrische Messungen an Si/Ge-Supergittern — •K. Litfin, M. Vergöhl, K. Dettmer und J. Schoenes — Institut für Halbleiterphysik und Optik, Technische Universität Braunschweig, Mendelssohnstr. 3, D-38106 Braunschweig

Mit Hilfe der Molekularstrahlepitaxie hergestellte Si/Ge-Supergitter wurden ellipsometrisch im Spektralbereich zwischen 1.0 und 4.5eV untersucht. Dabei wurden unterschiedliche lang- und kurzperiodische Supergitter auf verschiedenen Bufferkonzepten (linear oder parabolisch) zu Messungen herangezogen. Es werden Anpassungsrechnungen an die gemessenen Spektren vorgestellt und die sich ergebenden Konzentrations- und Tiefenprofile mit den Herstellungsdaten verglichen.