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HL: Halbleiterphysik

HL 28: Gitterdynamik

HL 28.8: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 12:15–12:30, H4

Phononenstreuung durch oxidische Präzipitate in CZ-Silizium — •F. Zeller, C. Wurster, K. Laßmann und W. Eisenmenger — Universität Stuttgart

Die Phononenspektroskopie mit supraleitenden Tunneldioden liefert Informationen über die Sauerstoff–Präzipitation in CZ–Silizium hinsichtlich Größe, innerer Struktur und Entstehungsphase dieser mesoskopischen Sauerstoff–Cluster. Wir diskutieren sowohl energieaufgelöste Phononenspektren in Transmissions– und Rückstreuanordnung als auch Pulsmessungen mit supraleitenden Sn–Tunnelkontakten. Bei Übereinstimmung von Phononenwellenlänge und Defektgröße ist grundsätzlich geometrisch resonante Phononenstreuung zu erwarten. Unter bestimmten Bedingungen (Temperprozeß, Kohlenstoffkonzentration) beobachten wir relativ schmale Phononenresonanzen bei Wellenlängen unterhalb von 10 nm, die wir auf die Streuung an entsprechend kleinen, möglicherweise plättchenförmigen Präzipitaten zurückführen. Insgesamt finden wir in den Phononenspektren deutliche Unterschiede zwischen Proben mit geringem und hohem Kohlenstoffgehalt, d. h. für homogene und heterogene Keimbildung.
Wir vergleichen die phononenspektroskopischen Resultate mit der bei 3.5 K gemessenen Infrarot–Absorption der Sauerstoff–Komplexe.