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HL: Halbleiterphysik

HL 7: Störstellen II

HL 7.5: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 16:30–16:45, H1

Radioaktiv-DLTS und PAC an Germanium — •Ch. Zistl¹, H. Häßlein¹, R. Sielemann¹, S. Gall¹, D. Bräunig¹ und J. Bollmann² — ¹Hahn-Meitner-Institut, Berlin — ²Humboldt-Universität, Berlin

Mit der PAC wurden in Germanium nach Elektronenbestrahlung zwei Defekte identifiziert. Einmal das am ¹¹¹In angelagerte Zwischengitteratom und das ¹¹¹In-Leerstellen-Paar[1,2]. Für diese Messungen wird das ¹¹¹In am HMI über eine Schwerionenreaktion erzeugt, in die zu untersuchenden Proben rückstoßimplantiert und diese danach ausgeheilt.[2] Mit der DLTS wurden nach Rückstoßimplantation und Elektronenbestrahlung in n-Typ Germanium mehrere Elektronentraps gefunden. In p-Typ Germanium konnte nach Rückstoßimplantation und Ausheilen der Probe die Elementumwandlung des Sondenatoms vom Indium zum Cadmium beobachtet werden. Dabei wurde das Anwachsen eines Signals mit der Halbwertszeit des ¹¹¹In beobachtet. Wir interpretieren dies als das substitutionelle Cd-Atom in Germanium (Aktivierungsenergie zum Valenzband: 146(3)meV). Ferner wurde das Zeitverhalten der DLTS-Signale von rückstoßimplantiertem und elektronenbestrahltem p-Typ Germanium untersucht. Das Verhalten der beobachteten Störstellen wird diskutiert.

[1] H.Häßlein, R.Sielemann, Hyp.Interactions(C), 203, I(1996)

[2] H.Häßlein, Dissertation HMI/FU-Berlin(1993)