Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 22: POSTER II

O 22.63: Poster

Mittwoch, 19. März 1997, 14:15–15:45, AULA

Entwicklung und Charakterisierung von Mikrowellensonden für die zeitlich und örtlich hochauflösende elektrische Raster-Kraft- Mikroskopie — •S. Münster, S. Werner, Ch. Mihalcea, W. Scholz und E. Oesterschulze — Institut für Technische Physik, Universität Gesamthochschule Kassel,
Heinrich-Plett-Straße 40, D-34132 Kassel

Der vorgestellte Mikrowellensensor eignet sich für die Potentialkontrast-Messung mikroelektronischer Bauelemente der Hochfrequenztechnik. Als Meßsonden wurden bislang kommerziell erhältliche Kraftsensoren verwendet, die im Hinblick auf elektrische Messungen nachträglich mit einer leitenden Aluminiumschicht versehen wurden und damit keine definierten elektrischen Hochfrequenzeigenschaften (Wellenwiderstand und Streuparameter) besitzen [1]. Bei der neukonzipierten Meßsonde erfolgt eine kontrollierte Führung des Meßsondensignals zur Spitze über eine Koplanarleitung. Dadurch ist der Wellenwiderstand auf 50 Ohm festgelegt und Leistungsanpassung zwischen Zuleitung zur Spitze und Hochfrequenzgenerator gegeben. Es wird das Herstellungsverfahren, die elektrische Charakterisierung der Mikrowellenleitung und erste Potentialkontrastmessungen vorgestellt.

[1] C. Böhm, C. Roths, E. Kubalek, IEEE MTT-S TH3C-5, 1605 (1994)