Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 22: POSTER II

O 22.66: Poster

Mittwoch, 19. März 1997, 14:15–15:45, AULA

Streulicht- und STM-Messungen an Si-Oberflächen — •G. Schnasse, R. Kumpe und M. Henzler — Institut für Festkörperphysik
Universität Hannover, Appelstraße 2, D-30167 Hannover

Hochempfindliche Streulichtmessungen liefern über das Verhältnis von gestreuter zu spekularer Intensität Informationen über die rms-Rauhigkeit einer Oberfläche. Der hierbei berücksichtigte Raumfrequenzbereich ergibt sich aus der Geometrie der Apparatur sowie letztlich aus der Größe des beleuchteten Oberflächenbereiches bei einer Nachweisgrenze von wenigen ppb. Durch Abrastern der Oberfläche im Bereich von 7 × 7 mm² kann ortsaufgelöst die Variation der lokalen rms-Rauhigkeit ermittelt werden. Ein STM mit hochpräziser Spitzenpositionierung liefert aus den zuvor vermessenen Bereichen Informationen über die zur Streuung führende Topographie der Oberfläche.

Naßchemisch sowie UHV präparierte Proben zeigen eine deutliche Mikrostruktur, die insbesondere im Zusammenhang mit unterschiedlichen Behandlungsverfahren genauer untersucht wurde.