Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

O: Oberflächenphysik

O 26: Methodisches (Experiment)

O 26.11: Vortrag

Mittwoch, 19. März 1997, 18:30–18:45, BOT

Mikromechanische Mehrspitzen-Anordnung f"ur die Raster-Sonden-Mikroskopie — •A.-D. M"uller, F. M"uller, and M. Hietschold — Institute of Physics, TU Chemnitz-Zwickau, 09017 Chemnitz

Durch mikromechanische Technologien werden geschlitzte Silizium-Membranen erzeugt, auf denen sich mehrere einzeln vertikal kapazitiv ausgelenkbare Sondenspitzen befinden. Es werden Methoden der kapazitiven Detektion des Spitze-Probe-Abstandes vorgestellt und deren Wirkungsweise anhand von Abstands-Kennlinien diskutiert. Die mikromechanischen Elemente k"onnen in Abh"angigkeit von ihrer Geometrie als Kraft- oder als Tunnel-Sensor verwendet werden. Da sich die Sonden-Spitzen in einem Abstand von weniger als 100µ m befinden, ist das Abscannen ein und des selben Probengebietes mit verschiedenen Spitzen m"oglich.