Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 26: Methodisches (Experiment)

O 26.6: Vortrag

Mittwoch, 19. März 1997, 17:15–17:30, BOT

Eine Quelle atomaren Wasserstoffs bekannter Flußdichte — •K.G. Tschersich — Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich

Obwohl atomarer Wasserstoff häufig zur Adsorption von Wasserstoff auf Metall- und Halbleiteroberflächen verwendet wird, findet man selten quantitative Angaben zur Flußdichte der eingesetzten Wasserstoff-Quellen. Mit dem Ziel einer hohen Flußdichte wurde eine Quelle nach dem Prinzip der heißen Wolfram-Kapillare entwickelt. Die Flußdichte des damit erzeugten Strahls von atomarem Wasserstoff hängt von drei Größen ab: vom Gasdurchsatz, vom Dissoziationsgrad und von der Winkelverteilung des aus der Quelle austretenden atomaren Wasserstoffs. Diese Größen wurden experimentell bestimmt, wobei Dissoziationsgrad und Winkelverteilung mit einem Massenspektrometer gemessen wurden. Die experimentellen Daten lassen sich durch ein Modell beschreiben, das den Dissoziationsgrad durch eine Gleichgewichtsdissoziation und die Winkelverteilung durch die Strahlformung bei der Molekularströmung erklärt. Aus den genannten Größen wurde die Flußdichte ermittelt.