VA 3: Ausgasung, Passivierung
  Monday, March 17, 1997, 16:00–17:20, ZH
  
    
  
  
    
      
        
          
            
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          16:00 | 
          VA 3.1 | 
          
            
            
              
                Plasmaimmersions-Ionenimplantation von Stickstoff in Edelstahl zur Modifikation der Gasabgabe — •Michaela Schulz, Bernd Garke, Norbert Schindler, Reinhard Günzel und Christian Edelmann
              
            
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          16:20 | 
          VA 3.2 | 
          
            
            
              
                Gasabgabemessungen mit einem reproduzierbar einstellbaren,regelbaren Leitwert — •Volker Hauer, Olaf Dill und Christian Edelmann
              
            
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          16:40 | 
          VA 3.3 | 
          
            
            
              
                Untersuchungen zur Wasserstoffabgabe verschiedener Graphitsorten — •Detlef Schleußner, Jörn Becker, Christian Edelmann, Rainer Behrisch und Peter Franzen
              
            
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          17:00 | 
          VA 3.4 | 
          
            
            
              
                Room temperature growth and characterisation of SiO2 passivation layers by plasma enhanced evaporation in the UHV — •A. Strass, A. Fischer, W. Hansch, P. Bieringer, A. Neubecker, and I. Eisele
              
            
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