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Bayreuth 1998 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 4: Entladungen I

Monday, March 9, 1998, 14:00–15:30, H 6

14:00 P 4.1 Fachvortrag: I(U)-Kennlinien des Plasmagenerators PSI-1: Experiment und Theorie — •D. Naujoks, G. Fu"smann, and H. Meyer
14:30 P 4.2 Zweidimensionale kinetische Modellierung der planaren induktiv gekoppelten Entladung in Argon — •Gerd Mümken
14:45 P 4.3 Modellierung einer planaren Magnetron-Sputter-Quelle — •A. Neuffer und A. Lunk
15:00 P 4.4 Ein großvolumiges ECR–Plasma: Modellrechnungen und erste Meßergebnisse — •D. Hemmers, M. David, H. Kempkens, S. Ostrowski, H. B. Schweer, J. Winter und J. Uhlenbusch
15:15 P 4.5 Plasmadiagnostische Sondenmessungen an einer HF-Ionenquelle bei gleichzeitiger Untersuchung der extrahierten Ionen — •Peter Fahrenbach, Klaus Groh und Horst Löb
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