Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 12: Plasma- und Ionentechniken

DS 12.1: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 11:15–11:30, H 34

In-situ-plasmadiagnostische Charakterisierung der c-BN Ab-
scheidung mittels Magnetronzerstäubung — •Thomas Welzel¹, Rainer Pintaske², Jens Hahn¹, Siegfried Peter¹ und Frank Richter¹ — ¹Technische Universität Chemnitz, Institut für Physik, D–09107 Chemnitz — ²STEP Sensortechnik und -elektronik Pockau GmbH, D–09509 Pockau

Bornitridschichten wurden mit 3 verschiedenen Modifikationen der Magnetronzerstäubung (HF- bzw. DC-Zerstäubung eines h-BN- und Bortargets) abgeschieden. Dabei stellte sich als wichtigster Parameter für die Ausbildung der kubischen Phase die Substratbiasspannung heraus. Durch Langmuir-Sondenmessungen war es möglich, Unterschiede in der optimalen Substratbiasspannung für die verschiedenen Verfahren auf unterschiedliche Ionenströme zurückzuführen und für alle drei Verfahren im totalen Impulseintrag pro abgeschiedenem bzw. angebotenem Atom einen Skalierungsparameter zu finden. Durch ein Mehrschrittverfahren konnte gezeigt werden, daß für das Wachstum der kubischen Phase der kritische Wert des Skalierungsparameters deutlich niedriger liegt als für die Nukleation. Es wurden Phaseninhomogenitäten der Schichten über dem Querschnitt des Substrathalters beobachtet. Durch Messung mit Sonden und laserinduzierter Fluoreszenz konnte nachgewiesen werden, daß diese Inhomgenitäten eindeutig auf die Inhomogenität des Ionenstromes zum Substrat zurückzuführen sind.