Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 22: Laserverfahren II
DS 22.2: Fachvortrag
Freitag, 27. März 1998, 10:30–10:45, H 31
Sondenlaseruntersuchung der Clusterbildung in der Dampf-
Plasmaphase beim laserinduzierten Materialabtrag — •T. Kramer, M. Aden, A. Husmann, E.W. Kreutz und R. Poprawe — Lehrstuhl für Lasertechnik, Steinbachstraße 15, 52074 Aachen
Bei der Herstellung dünner Schichten mit dem Pulsed Laser Deposition
(PLD)-Verfahren beeinflusst das Vorhandensein von Partikeln und Clustern
im Dampf/Plasma die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten.
Zur Bestimmung der Clusterradien im laserinduzierten Materialdampf
/-plasma eines Aluminium- und Kupfertargets bei Verwendung von
CO2 (λ = 10.6 µ m, τ p = 3 µ s) und
Nd:YAG (λ = 1.06 µ m, τ p = 2 ms) Laserstrahlung
wird die Streuung zweier Sondenlaserstrahlen
(λ1 = 543 nm, λ2 = 633 nm)
an den Dampf-/Plasmateilchen ausgenutzt.
Die experimentell bestimmten zeit- und ortsaufgelösten Intensitätsverläufe
I(t) folgen dem Lambert-Beer-Gesetz für ein absorbierendes Medium.
Aus den experimentellen Daten wird durch Vergleich mit Berechnungen auf Basis
der Mie-Theorie ein Äquivalenzradius ermittelt.
Die Abhängigkeit der Clusterradien von der Dampf-/Plasmageometrie
wird ortsaufgelöst diskutiert.