Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 3: Harte Schichten I

DS 3.3: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 14:30–14:45, H 31

Synthese, Charakterisierung und Anwendungen dünner Schichten aus Fluorhaltigem tetraedrisch gebundenem amorphem Kohlenstoff (ta-C:F) — •Rainer Merk, Markus Restle, Horst Feldermann und Hans Hofsäss — Fakultät für Physik, Universität Konstanz, D-78457 Konstanz

Mit Hilfe der massenselektierten Ionestrahldeposition niederenergetischer ¹²C⁺ und ¹⁹F⁺ Ionen wurden Fluorhaltige Schichten aus tetraedrisch gebundenem amorphen Kohlenstoff synthetisiert. Die Schichten wurden mit 100 eV Ionen bei Raumtemperatur auf Edelstahl- und Siliziumsubstraten abgeschieden.

Für angebotene Ladungsverhältnisse [C⁺]:[F⁺] zwischen 95:5 und 50:50 werden Fluoranteile zwischen 5 at. % und 30 at. % erzielt. EELS Messungen zeigen selbst bei 30 at. % F noch Plasmonenenergien von 30 eV, was auf einen hohen Anteil an sp³-gebundenen C-Atomen deutet. Untersuchungen zu den Benetzungseigenschaften von ta-C:F Oberflächen, zur IR-Absorption, zum kompressiven Stress und zur thermischen Stabilität der Schichten werden vorgestellt. Mögliche Anwendungen solcher Beschichtungen werden diskutiert.