Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 4: Harte Schichten II
DS 4.3: Fachvortrag
Montag, 23. März 1998, 15:45–16:00, H 31
Mechanische Eigenschaften von Kohlenstoffnitridschichten, hergestellt mittels ionenstrahlgestützter gefilterter Vakuumbogenverdampfung — •Christian Spaeth1, Michael Kühn1, Frank Richter1, Thomas Chudoba1 und Ulrich Kreissig2 — 1Technische Universität Chemnitz, D–09107 Chemnitz — 2Forschungszentrum Rossendorf, Postfach 510919, D–01314 Dresden
Kohlenstoffnitridschichten mit Stickstoffkonzentrationen von 0 bis19 At.% und Dichten von 2.9 bis 2.4 g/cm3 wurden mittels ionenstrahlgestützter gefilterter Vakuumbogenverdampfung hergestellt.
Registrierende Mikrohärtemessungen ergaben Härtewerte von 72 GPa für reine Kohlenstoffschichten (ta-C) und 37 GPa für CN0.23–Schichten.
Abrasiver und adhesiver Verschleiß wurden mit einem Kalottentester und einem Schwingverschleißtester erfasst. Die Verschleißbeständigkeit für beide Verschleißarten verschlechtert sich durch den Einbau von Stickstoff. Die Verschleißbeständigkeit der CN0.23–Schichten liegt jedoch immer noch über der von Standard–a-C:H–Schichten.
Im Scratchtest sind die CN0.23–Schichten den Schichten mit geringeren Stickstoffgehalten überlegen. Es werden kritische Lasten von 50 N für die CN0.23–Schichten erreicht, wohingegen die an Stickstoff ärmeren Schichten nur kritische Lasten bis 26 N aufweisen.