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M: Metallphysik

M 23: Quasikristalle I

M 23.1: Talk

Thursday, March 26, 1998, 10:10–10:30, H 33

ERDA-Messungen an dünnen quasikristallinen Schichten — •Holger Nolte¹, Roland Haberkern², Walter Assmann³, Hans Dieter Mieskes³ und Thomas Eisenhammer⁴ — ¹Beschleunigerlab. Uni-München 85748 Garching — ²TU Chemnitz-Zwickau — ³Universität München — ⁴Tinox-GMBH

Ein Problem bei der Herstellung dünner (z.B. 200 nm dicker) quasikristalliner Schichten ist die Bestimmung der Stöchiometrie und der Nachweis von Verunreinigungen. Hierzu wird häufig die Rutherford–Rückstreuung (RBS) verwendet. Diese Meßmethode hat jedoch den Nachteil, daß sie nicht sensitiv auf die leichten Elemente (z.B. Sauerstoff) ist. Mit der Schwerionen–ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) kann man dagegen die leichten und auch die schweren Elemente mit nahezu gleicher Empfindlichkeit nachweisen. Hierbei werden mit einem hochenergetischen Ionenstrahl (z.B. 210 MeV I) Atome aus der Probe herausgestreut und diese in einem Detektor nachgewiesen. Als Beispiel werden Messungen an dünnen AlCuFe– und AlPdRe–Schichten vorgestellt. Aus den Messungen kann neben der Stöchiometrie auch Aussagen über die bei der Herstellung in die Schichten eingebrachten Verunreinigungen gewonnen werden und so die Herstellungsbedingungen optimiert werden.